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    作者:http://www.hualugk.com 发布时间:2022-03-16 22:34:09

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    4.PECVD载具可倾斜15度或内部旋转180度;

    5.净化风机噪音小于50dB。

    6.确保工作区的洁净度达到工艺要求的100级。



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